高分辨率激光干涉仪
便携式、高分辨率、高动态范围激光干涉仪！
超分辨剪切干涉仪(High-resolution interferometer)是一款便携式、高灵敏度、高精度的波前分析仪。超分辨剪切干涉仪基于波前分析的四波剪切干涉技术，与传统干涉仪相比较具有结构紧凑，使用方便，无需标准件，检测稳定性，直接测量任意的波前、高分辨率（300x400采样点），3D显示等优点。
关键词：干涉仪、激光干涉仪、球面干涉仪、激光平面干涉仪、干涉光刻、传函仪、白光干涉仪、Zygo、波前分析仪、波前传感器、迈克尔逊干涉仪、便携式干涉仪、光学传函仪
超分辨激光干涉仪基于便携式、高灵敏度、高精度波前分析仪。该激光干涉仪采用四波剪切干涉技术，与传统干涉仪相比较具有结构紧凑，使用方便，无需标准件，检测稳定性，直接测量任意的波前、高分辨率（300x400采样点）、激光波长覆盖400-1100nm、消色差、高动态范围（500um）等优点。
超分辨剪切干涉仪可用于激光波前检测、激光强度检测、等离子体密度检测、透镜检测、高功率激光自适应、光刻机检测、精密光学元器件检测、光学系统装调、镜头模组检测、传递函数（MTF）检测等。法国Phasics公司超分辨剪切干涉仪并可实时检测为客户提供优化的数据支持。
产品特点：
1、直接测量、无需标准件
图一、检测光路
2、高灵敏度（是普通白光干涉仪的8.4倍）、对振动不敏感
图二 与传统的干涉仪检测结果对比
3、三维立体显示
图三、波前三维检测视图
4、实时显示泽尼克系数
图四、多阶泽尼克显示界面
5、传递函数（MTF）检测
图五、传递函数检测界面
干涉仪应用领域：
Ø 激光光束性能、波前畸变、M^2、强度等的检测
Ø 红外透镜检测
Ø 光刻机物镜检测
Ø 大口径高精度光学元器件检测
Ø 透镜、镜头模组检测
Ø 传递函数测量
Ø 等离子体密度检测
Ø 高功率激光自适应
产品系列：
哈尔滨工业大学采购多波长激光干涉仪顺利通过验收
2019年7月17-19号，上海昊量光电在哈尔滨工业大学成功安装了一套法国Phasics公司多波长激光干涉仪系统，并经过专家组验收通过。多波长激光干涉仪在验收过程中通过了各项指标要求检测，获得了客户团队的高度评价以及肯定。多波长激光干涉仪的品质以及昊量光电优质的技术服务获得了哈尔滨工业大学验收团队的一致认可。
哈尔滨工业大学采购多波长激光干涉仪顺利通过验收
2019年7月17-19号，上海昊量光电在哈尔滨工业大学成功安装了一套法国Phasics公司多波长激光干涉仪系统，并经过专家组验收通过。多波长激光干涉仪在验收过程中通过了各项指标要求检测，获得了客户团队的高度评价以及肯定。多波长激光干涉仪的品质以及昊量光电优质的技术服务获得了哈尔滨工业大学验收团队的一致认可。
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