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压电精密定位系统

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一维(X轴)压电平移台

一维(X轴)压电陶瓷平移台 --- 高精度亚纳米一维压电平移台!

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负责人姓名:李工(William)

电话:156 1809 2363 邮箱:wentao-li@auniontech.com


一维(X轴)压电陶瓷平移台

高精度亚纳米一维压电平移台!


AU-HS系列一维压电平移台采用压电陶瓷直推,一维(X轴)压电平移台以柔性铰链为导向使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点,采用硅位移传感器,一维(X轴)压电平移台相比于传统的电容式位移传感器,硅传感器使平移台拥有更高的精度和线性度以及较低的底噪。一维(X轴)压电平移台的精度可以达到亚纳米,底噪低至10pm。


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昊量光电推出的压电平移台是为了满足超精密定位应用的需求。该平移台采用压电陶瓷驱动,以柔性铰链为导向使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。采用硅高精度位移传感器,与电容位移传感器相比拥有更高的精度、线性度和非常低的底噪。由于其具有较高的精度、线性度和较低的底噪等优点,被广泛的应用于超分辨率显微镜,光学捕获和原子力显微镜等领域。

上海昊量光电推出的一维压电平移台主要有以下几款产品。

①超快一维压电平移台

超快一维压电平移台主要以AU-HS系列为主,该产品是一款紧凑的压电定位平移台,可以组合成为两维和三维的平移台。该平移台可以提供10mm, 30mm,50mm,70mm,100mm等不同的行程,自振频率最高可达到7000Hz。

图1、AU-HS压电平移台应用实例


②大行程平移台

SLR平移台是我们推出的行程最大的一款平移台,其行程可达到1500mm,该平移台以柔性铰链为导向,硅传感器闭环控制,在1500mm的行程中位移分辨率可达1.5nm,重复精度为0.3纳米,底噪低至0.15纳米。并且该平移台可以组装成二维甚至三维平移台。



③拥有方形孔径的平移台

AU-LF-1拥有一个边长为66mm方形孔径的平移台,该平移台可提供100mm,200mm,300mm三种不同的行程。该平移台结构紧凑非常适合用于需求孔径的平移台并且对体积有要求的应用。




u  产品特点
l  高分辨率(0.01nm)
l  大行程1500mm
l  高速度,自振频率可达7000Hz
l  采用硅传感技术
l  超低底噪
l  柔性铰链导向


u  主要应用
l  纳米刻蚀
l  干涉测量
l  高速聚焦
自适应光学
l  超分辨显微镜
l  粒子追踪


u  产品参数:


Unit

HS1.10

HS1.30

HS1.50

HS1.70

HS1.100

LF1.100

LF1.200

LF1.300

SLR.1500

Range of motion

mm

10

30

50

70

100

100

200

300

1500

Resolution

nm

0.01

0.03

0.05

0.07

0.1

0.1

0.2

0.3

1.5

Typical noise floor

nm

0.001

0.003

0.005

0.007

0.01

0.01

0.02

0.03

0.15

Full range repeatability

nm

0.02

0.06

0.1

0.14

0.2

0.2

0.4

0.6

0.3

Linearization (typical)


0.02%

0.02%

0.02%

0.02%

0.02%

0.02%

0.02%

0.02%

0.02%

Resonant frequency

Hz

7000

4000

4000

4000

1500

500

400

300

135

Stiffness

N/mm

5.2

3

3

3

1.1

0.6

0.5

0.4

0.15

Maximum load :



horizontal use

Kg

1

vertical use

Kg

0.5

Sensor


Silicon HR sensor

Material


Al

Cable length

m

2

Controller


Standard or High Speed

Standard







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产品标签:压电平移台,压电陶瓷平移台,压电陶瓷定位台,压电陶瓷微动台,压电陶瓷扫描台,压电精密定位系统

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