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精密定位平台 | 显微载物台

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压电亚纳米/纳米平移台(压电直推型,0-1500μm行程)

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科研级高精度超低噪压电亚纳米平移台!

所属类别:位移台 | 偏转镜 | 旋转台 » 精密定位平台 | 显微载物台

所属品牌:法国PIEZOCONCEPT公司

南方区产品负责人

姓名:于工(Grin)

电话:131 2782 0466(微信同号)

邮箱:huaijian-yu@auniontech.com

微信:点击扫描添加

北方区产品负责人

姓名:刘工(Mario)

电话:131 2285 6820(微信同号)

邮箱:zhanshuo-liu@auniontech.com

微信:点击扫描添加

高精度亚纳米压电平移台

 

       法国PIEZOCONCEPT压电纳米平移台是以压电陶瓷为驱动,采用柔性铰链连接,选用比传统电容位移传感器性能更优的Si-HR 传感器,具有更高的稳定性和闭环精度。现可提供一维/二维/三维(X、Z、XY及XYZ)精密压电纳米位移平台物镜扫描仪和快速偏摆台等产品,一维位移台行程可达1500um(MAX)。支持短周期、低费用的定制服务。

 

       采用硅基高精度硅基位移传感器(Si-HR 传感器)闭环反馈,使平台拥有毫秒级响应速度,亚纳米级的分辨率,超低底噪(10-50pm)和超高线性度(0.02%)。配备16Bit高分辨率高速控制器,支持模拟/数字信号控制。被广泛应用于,超分辨显微光镊系统、原子力显微镜、体容积成像、显微扫描、光路调整、纳米操控技术、ccd 图像处理、激光干涉、纳米光刻、生物科技、光通信、纳米测量、显微操作、纳米压印等领域。 受到国内外高端工业领域和科研领域的一致好评。


主要特点主要应用


高分辨率:0.005nm/urad(Max)

超大行程:1500um(Max)

超低底噪:10-50pm

超高速:谐振频率7000Hz(Max)

高性能传感器:Si-HR 传感器

柔性铰链:高可靠、长寿命

紧凑设计

可用于真空环境


超分辨显微

原子力显微镜

干涉测量

精密光学

自适应光学

光束稳定/扫描

光镊

纳米刻蚀 


1)单轴压电平台

单轴压电平台是可以在单个维度上提供精确定位的产品,主要包含X轴压电平台、Z轴压电平台、物镜扫描台、快速反射镜

   X轴压电平台

      可提供各类大行程/高精度、中空/非中空类型的产品

型号

AU-HS1

AU-HS1H

AU-CX

AU-LF1

AU-SLR

产品图片

行程(μm)

10/30/50/70/100

30/50/70/100

100/200

100/200/300

300/500/800/1500

分辨率(nm)

0.01/0.03/0.05/0.07/0.1

0.03/0.05/0.07/0.1

0.1/0.2

0.1/0.2/0.3

0.3/0.5/0.8/1.5

重复精度(全行程)nm

0.02/0.06/0.1/0.14/0.2

0.06/0.1/0.14/0.2

0.2/0.4

0.2/0.4/0.6

0.6/1/1.6/3

本底噪声nm

0.001/0.003/0.005/0.007/0.01

0.003/0.005/0.007/0.01

0.01/0.02

0.01/0.02/0.03

0.03/0.05/0.08/0.15

传感

硅传感器闭环反馈

产品特点超高速,高精度高精度大通孔可用于倒置显微镜超高性价比大通孔可用于生物样品扫描超大行程


②Z轴压电平台


型号

AU-Z-stage

AU-C.Z

Z-insert

Z-insert-K-TYPE

LT-Z

产品图片

行程(μm)

5/10/25/50

100/200

100/200/300/500

100/200/300

100/200/300/500

分辨率(nm)

0.005/0.01/0.025/0.05

0.1/0.2

0.1/0.2/0.3/0.5

0.1/0.2/0.3

0.1/0.2/0.3/0.5

重复精度(nm)

0.01/0.02/0.05/0.1

0.2/0.4

0.2/0.4/0.6/1.0

0.2/0.4/0.6

0.2/0.4/0.6/1.0

本底噪声nm

0.0005/0.001/0.0025/0.005

0.01/0.02

0.01/0.02/0.03/0.05

0.01/0.02/0.03

0.01/0.02/0.03/0.05

传感器

硅传感器闭环反馈



③物镜扫描台

型号

FOCHS.100

FOC

产品图片

行程(μm)

100

100/200/300/500

分辨率(nm)

0.1

0.1/0.2/0.3/0.5

全行程重复精度(nm)

0.2

0.2/0.4/0.6/1.0

本底噪声nm

0.01

0.01/0.02/0.03/0.06

传感器

硅传感器闭环反馈


④一维快反镜

型号

AU-TT1

产品图片

偏转角度(mrad)

5/10

分辨率(urad)

0.005/0.01

全行程重复精度(urad)

0.01/0.02

本底噪声(urad)

0.0005/0.001

传感器

硅传感器闭环反馈


2)两轴压电平台

两轴压电平台可以提供两个维度上的平移或偏转,主要包括XY二维压电纳米位移台和二维快反镜

①XY压电平台

型号

LFHS2

C2.

LFS2

LT2

BIO2

产品图片

行程(μm)

30/50/75

100/200

100

100/200/300

100/200/300

分辨率(nm)

0.03/0.05/0.075

0.1/0.2

0.1

0.1/0.2/0.3

0.1/0.2/0.3

重复精度(nm)

0.06/0.1/0.15

0.2/0.4

0.2

0.2/0.4/0.6

0.2/0.4/0.6

本底噪声(nm)

0.003/0.005/0.0075

0.01/0.02

0.01

0.01/0.02/0.03

0.01/0.02/0.03

传感器

硅传感器闭环反馈

②二维快反镜

型号

TT2.5

产品图片

偏转角度(mrad)

5/10

分辨率(μrad)

0.005/0.01

全行程重复精度(μrad)

0.01/0.02

本底噪声(μrad)

0.0005/0.001

传感器

硅传感器闭环反馈


3)三轴压电平台

产品图片

描述

行程

LT3是一款三维压电平台,可提供100,200或300微米的行程。平台使用硅传感器,整体厚度只有20mm,该平台很容易集成到倒置显微镜中

X-Y-Z
100μm
200μm
300μm


BIO3是一款超低剖面的三维纳米定位平台可集成在任何倒置显微镜中。载玻片可以放置在其矩形孔中

X-Y-Z
100μm
200μm
300μm


LF3是紧凑型3轴压电平台,具有66mm方孔,X轴和Y轴行程范围为100μm,200μm或300μm,Z轴行程为50μm。   建议要求小尺寸和通光孔时使用

X-Y:
100μm
200μm
300μm

Z:

50μm

LFS3是一款3轴纳米定位平台,X,Y行程为100μm,Z行程20um,通光孔径40 x 40 mm。

X-Y:

100μm
 Z:

20μm

LFHS3是一款高速三轴纳米定位台,谐振频率高于2k,通光孔径达66x66mm,可实现高速扫描,阶跃时间可达2ms

X-Y:

75μm

Z:

50μm


LTHS3是一款超薄高速三维定位平台,可配合任何倒置显微镜使用,可实现高速扫描

X-Y:
75μm

Z:

50μm

C3是一款紧凑型平台,是光纤对准、双光子聚合、激光直写等应用的理想产品

X-Y-Z
100μm

200μm


SPM3平台的Z轴具有高达50μm的行程范围,谐振频率高达12.5kHz,当与高功率控制器一起使用时,SPM3.5的Z轴的阶跃响应时间可以小于毫秒。因此,SPM平台专为要求苛刻的计量应用而设计,例如原子力显微镜。

X-Y:
75μm

Z:

5μm

10μm

25μm

50μm


SPM3LR压电平台是三维纳米定位平台,X轴和Y轴的位移为   100μm,200μm或300μm。

Z轴部分的行程MAX可达50μm并具有高达12.5kHz的谐振频率。 SPM3LR.xxx.05的Z轴的阶跃响应时间可以小于毫秒。

因此,SPM3LR载物台设计用于要求苛刻的计量应用,例如原子力显微镜。


X-Y:
100μm

200μm

300μm

Z:

5μm

10μm

25μm

50μm

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