EUV，X射线波前探测器（X射线光束分析仪）
EUV，X射线光强分布，波前分析实时测量，准确可靠！
EUV/X射线光束分析仪
该款EUV，X射线Hartmann-Shack波前传感器配置是为全面分析激光束和光学特性而设计。系统采用微透镜阵列将入射波分成大量的子射线（如右下图），每个焦点的强度和位置由ccd相机获取，经后续计算重构得到光强分布和波前分析。
主要特点：
** 详细指标要求，可咨询上海昊量光电设备有限公司。
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