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法国Phasics公司自主研发的波前传感器是基于四波横向剪切干涉技术。SID4系列波前分析仪相较传统的夏克-哈特曼波前探测器具有高分辨率、消色差、高灵敏度、高动态检测范围、操作简便等独特的优势。为波前像差、波前畸变的检测以及激光光束及波前的测量、分析，眼科虹膜定位波前像差引导等提供了全新的解决方案！PHASICS波前探测器配套的软件界面友好，可直观的输出高分辨率相位图和光束强度分布图。
法国PHASICS波前传感器生产厂家具有雄厚的技术研发实力，能为客户提供的各种自适应光学系统OA-SYS(Adaptive Optics Loops)，制定个性化解决方案。可根据客户的应用需求，为客户推荐合适的SID4波前传感器、可变形镜或空间光调制器、自适应光学系统操作软件等。
图1 波前校正前与校正后对比
PHASICS波前探测器依据其四波横向剪切干涉技术，对哈特曼掩模技术进行了大的升级、改进。PHASICS波前传感器将400X300的超高分辨率和500um的超大动态范围完美结合在了一起。可以满足不同的客户的应用需求，可对激光光束进行光强、位相、PSF（点扩散函数）、MTF（调制传递函数）、OTF（光学传递函数）、波前像差、M^2等进行实时、简便、快速的测量。
第1部 产品介绍
SID4 UV-HR高分辨紫外波前传感器
PHASICS公司将 SID4的波前测量波长范围扩展到190nm-400nm。SID4 UV-HR是一款适用于紫外波段的高分辨率波前传感器,适用于光学元件测量（例如印刷、半导体等等）和表面检测（半导体晶片检测等）。
特点：
高分辨率（512 x 512 ）
覆盖紫外光谱
灵敏度高（2 nm RMS ）
优化信噪比
图2 SID4-UV波前传感器
SID4 波前传感器
可用于400nm-1000nm 的激光的波前位相、强度分布，波前像差，激光的M2，泽尼克参数等进行实时的测量及参数输出。
特点：
波长范围：400-1100nm
分辨率高（160x120）
消色差
测量稳定性高
对震动不敏感
结构紧凑，体积小
可用笔记本电脑控制
图3 SID4波前传感器
SID4-HR 波前传感器
可用于检测各种透镜，光学系统的检测，可以对透镜、光学系统的进行实时的PSF（点扩散函数）、MTF（调制传递函数）、OTF（光学传递函数）、波前像差测量及参数输出。相对于传统的透镜检测设备像：传函仪、干涉仪，具有操作简便，测量精度高，参数输出方便等优点，正在被越来越多的客户推崇。
特点：
波长范围：400-1100nm
高性能的相机，信噪比高
实时测量，立即给出整个物体表面的信息
曝光时间极短,保证动态物体测量
操作简单
图4 SID4-HR波前传感器
图5 SID4-HR传递函数检测
SID4 DWIR 波前传感器
具有宽波段测量的特点。可以实时的检测3-5um和8-14um的波前位相，强度分布等响应的波前信息。可以很好的满足红外波段客户的波前检测需求。
特点：
光学测量：SID4 DWIR是测量红外物体特性（热成像和安全视觉）或红外透镜（CO2激光器）的理想工具，输出结果包括MTF，PSF，像差，表面质量和透镜焦距。
光束测量：（CO2激光器，红外OPO激光光源等等）SID4 DWIR提供详尽的光束特性参数：像差，M2，光强分布，光束特性等
高分辨率（10.08✖8.16）
可实现测量
可覆盖中红外和远红外波段 大数值孔径测量，无需额外中转透镜
快速测量 对振动不敏感
可实现离轴测量
性价比高
图7SID4 DWIR波前传感器
SID4产品型号参数汇总
第二部 控制软件
SID4波前分析仪控制软件
SID4波前分析仪控制软件与SID4 波前传感器配套提供的是一款完整的分析软件，其集成了高分辨率的相位图与强度分布图，测量光强分布和波前信息。
借助Labview和C++ 可编程模块数据库（软件二次开发工具包），客户能够根据自身的需要编写各种相位测量与编译模块。
adaptive optics Loops将SID4 wavefront Sensor结合您的应用，选配合适的可变形镜或相位调制器，提供整套的自适应光学系统。减小任何一个光学系统的相差从来都不是简单的，我们的产品能为激光光束和成像系统带来更可靠，高精度的解决方案。
图8 SID4控制界面
SID4光学测量软件Kaleo
Phasics基于剪切干涉的波前传感器与专门设计的光学测量软件Kaleo结合，可以测量球面镜和非球面镜的像差及MTF等信息。只需要几秒钟，我们的仪器为您呈现绝大部分的光学参数，如焦距，光腰，MTF，像差，Zernike系数，曲率半径，PSF等。
第三部 与传统哈特曼波前分析仪比较
与传统哈特曼波前传感器测量结果对比：
技术参数对比：
PHASICS | Shack-Hartmann | 区别 | |
技术 | 剪切干涉 | PHASICS投放市场时，是对夏克-哈特曼技术的升级 | |
重建方式 | 傅里叶变换 | 分区或模式法 | 夏克-哈特曼波前探测器，局域导数以微透镜单元区域的平均值来近似，误差大 |
强度 | 对强度变化不敏感 | 对强度变化灵敏 | PHASICS测量精度高，波前测量不依赖于强度水平 |
校准 | 用针孔校准、方便快捷 | 安装困难，需要精密的调节台 | PHASICS使用方便 |
取样点 | SID4-HR达416X360测量点 | 128X128测量点（多个微透镜） | PHASICS具有更高的分辨率 |
数值孔径 | NA：0.5 | NA：0.1 | PHASICS动态范围更高 |
分辨率 | 26μm | 115μm | PHASICS具有更高的空间分辨率 |
测量精度 | 2nm RMS | 5nm RMS | PHASICS更好的测量精度 |
获取频率 | 10fps | 30fps | PHASICS获取速度快 |
处理频率 | 3Hz | 30Hz | PHASICS可满足大部分处理要求 |
消色差 | 无需对每个波长进行校准 | 需要在每个波长处校正 | PHASICS更灵活，可以测试宽波段，而不需要校准 |
第四部 应用领域
激光、天文、显微、眼科等复杂自适应光学系统波前像差检测
激光光束性能、波前像差、M^2、强度等的检测
红外、近红外探测
平行光管/望远镜系统的检测与装调
卫星遥感成像、生物成像、热成像领域
球面、非球面光学元器件检测 (平面, 球面, 透镜)
虹膜定位像差引导
大口径高精度光学元器件检测
激光通信领域
航空航天领域
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