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X射线源

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台式X射线源

  • 台式X射线源
新型X射线台式光源,性能稳定,性价比高!

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所属品牌:

产品负责人:

姓名:王工(Karl)

电话:186 1603 9606(微信同号)

邮箱:kangjun-wang@auniontech.com

台式X射线



激光源产生的紫外/软X射线辐射是Gottingen激光实验室开发的,由高脉冲能量YAG激光器(1064nm,800mJ,7ns)聚焦于气体电离产生。不同的目标气体对应不同的能谱分布。

                                                                                       


指标参数:

 

波长范围:              1 -  20nm 

脉冲宽度:              7ns

脉冲能量 (Xe):         3.5mJ

                              (4π sr, 2% BW)

转换效率 (Xe):       0.45%

等离子分布:           Φ ~ 300um

重复频率:              达10Hz








▼  Sketch of the sources  equipped with an ellipsoidal focusing mirror.  

     Intensity profiles indicate the beam shape measured behind the optic.                                             ▲  Emission Spetra of Various target gases


特点:                                                                                          应用:


■     低残留物                                                                                ■     度量学:反射计量,吸收光谱 (NEXAFS)

■     高EUV能量(3.5mJ)                                                            ■     光学 / 传感测试

■     气体消耗量少                                                                         ■     EUV 损伤研究

     (气体脉冲周期 <1ms )

■     简易的目标气体更换                                                              ■     材料作用的基础研究

■     桌面台式系统                                                                         ■     水窗显微镜技术(λ =2-4nm)



另外,我们可以根据客户要求,提供关键部分产品,详情可咨询上海昊量光电设备有限公司。

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