点衍射激光干涉仪-大口径(≥700mm)高精度(≤0.6nm RMS)无出口限制皮米级精度激光干涉仪相位偏折术/相位偏折测量系统λ/1000超高精度激光干涉仪!纳米表面轮廓仪高分辨率激光干涉仪马赫增德尔/迈克尔逊光纤干涉仪Kaleo MultiWAVE多波长动态干涉仪皮米级绝对距离测量干涉仪通用光学测量仪——波前/倾角/轮廓测量三合一
λ/1000超高精度激光干涉仪!
爱沙尼亚Difrotec公司的激光干涉仪是市场上高精度干涉仪的标杆产品,测量精度可达0.6nm(λ/1000). 其标杆产品D7激光干涉仪采用点衍射技术,主要用于高精度的表面(平面,球面,非球面,自由曲面)检测及透射波前检测。
产品参数:
产品特点:
测量光路示例:
产品标签:干涉仪,激光干涉仪,点衍射干涉仪,球面干涉仪,ZYGO,平面干涉仪,菲索型激光干涉仪,4D