30W高功率UV-LED点光源（多波段，ALE/1系列）
---适用于光固化以及半导体光刻领域
昊量光电的ALE/1系列高功率UV-LED点光源是一款功率可达30W且可包含多个波段的无汞“绿色”LED光源，ALE/1-UV LED点光源采用模块化工艺，波长可覆盖365-970nm波长范围内的多个LED模块（如367.5±2.5nm, 387.5±2.5nm, 402.5±2.5nm, 435.0±2.5nm 等），且LED模块支持更换。这样模块化工艺支持就实现了光谱组分的灵活定制，满足客户以合适的代价实现多波段的应用需求。ALE/1-UV-LED光源还采用光纤耦合设计，液体光导纤维长度可定制，应用场景更加灵活，且具有非常稳定的输出和很长的使用寿命。
ALE/1这款高功率多波段-UV LED的模块化和一体化设计形式，给与了客户更大的定制化要求，极大的促进了产品的使用灵活性，目前广泛应用在各种固化场景、半导体制造领域、无损伤检测以及生命科学研究领域，如下详细列举应用场景（供感兴趣客户参考）：
ALE/3系列UV-LED光源应用场景：
| 光固化应用 | 半导体制造领域 | 其他应用 | |||
| 1、单点固化 | 1、曝光机 | 1、无损伤检测（NDT） | |||
| 2、多点固化 | 2、晶圆边缘曝光 | 2、生命科学领域 | |||
| 3、小区域固化 | 3、光掩模检查 | ||||
| 4、高密度固化 | 4、准直曝光 | ||||
ALE/1- UV LED点光源特色：
高功率：up to 30W ，且功率密度可达95000mW/cm2；
光纤耦合输出: 支持5.0mm, 6.5mm或8.5mm 光导组合输出 （支持单极、双极、四极输出）；
定制光谱组成，ALE/1 可支持集成多达5个LED模块 ：
UV-LED ： 365nm， 385nm, 405nm，435nm （覆盖i 线，g线，h线） ;
VIS-LED : 470nm，520nm, 620nm，660nm, 690nm ；
NIR-LED: 730nm，770nm, 810nm，850nm, 970nm，1050nm ；
闭环控制输出，内部测量和监控光学功率；
易于集成且无需外部冷却，"绿色”无汞光源 ；
友好交互界面，方便操作；
可选项：高性能光学元器件，可匀光、聚焦等；
潜在组合举例和性能：
ALE/1.1(单LED光源)举例
| Emitters | 1 UV-LED (365, 385, 405, or 435 nm)1 | ||
| Radiation output2 in mW | ALE/1 | ALE/1+ | ALE/1+ |
| light guide3 | Ø5.0 mm | Ø6.5 mm AR | Ø8.0 mm |
| 365 nm | 7,000 | 10,000 | 10,500 |
| 385 nm | 10,000 | 14,000 | 14,000 |
| 405 nm | 10,000 | 14,000 | 14,000 |
| 435 nm | 7,000 | 10,000 | 10,500 |
ALE/1.2(双LED光源)举例
| Emitters | 2 UV-LEDs (365 and 385 nm)1 | ||
| Radiation output2 in mW | ALE/1 | ALE/1+ | ALE/1+ |
| Light guide3 | Ø5.0 mm | Ø6.5 mm AR | Ø8.0 mm |
| 365 nm | 4,500 | 6,500 | 6,500 |
| 385 nm | 8,000 | 12,500 | 12,500 |
| Total | 12,500 | 19,000 | 19,000 |
ALE/1.3(三LED光源)举例
| Emitters | 3 UV-LEDs (365, 385, and 405 nm)1 | ||
| Radiation output2 in mW | ALE/1 | ALE/1+ | ALE/1+ |
| Light guide3 | Ø5.0 mm | Ø6.5 mm AR | Ø8.0 mm |
| 365 nm | 4,500 | 6,500 | 6,500 |
| 385 nm | 6,000 | 9,000 | 9,000 |
| 405 nm | 4,500 | 8,000 | 8,000 |
| Total | 15,000 | 23,500 | 23,500 |
| Emitters | 3 UV-LEDs (365, 405, and 435 nm)1 | ||
| Radiation output2 in mW | ALE/1 | ALE/1+ | ALE/1+ |
| Light guide3 | Ø5.0 mm | Ø6.5 mm AR | Ø8.0 mm |
| 365 nm | 6,500 | 10,000 | 10,000 |
| 405 nm | 6,500 | 10,500 | 10,500 |
| 435 nm | 6,000 | 9,500 | 9,500 |
| Total | 19,000 | 30,000 | 30,000 |
ALE/1.4&ALE/1.5(四/五LED光源)举例
| Emitters | 4 UV-LEDs (365, 385, 405, and 435 nm)1 | ||
| Radiation output2 in mW | ALE/1 | ALE/1+ | ALE/1+ |
| Light guide3 | Ø5.0 mm | Ø6.5 mm AR | Ø8.0 mm |
| 365 nm | 4,500 | 6,500 | 6,500 |
| 385 nm | 6,000 | 9,000 | 9,000 |
| 405 nm | 4,500 | 7,500 | 7,500 |
| 435 nm | 4,000 | 7,000 | 7,000 |
| Total | 19,000 | 30,000 | 30,000 |
ALE/1-UV LED点光源规格参数：
发光单元 | up to 5 LEDs ,波长范围覆盖 365 nm to 1050 nm |
输出功率 | 可高达 30 W |
输出功率密度 | 可达 95,000 mW/cm2 |
数值孔径 | 0.60 / 70° (2α) |
控制配置 |
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通讯接口 |
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热管理 | 内部液体冷却 |
尺寸（长x宽x高） | 28 cm X 23 cm X 40 cm (11.0″ X 9.1″ X 15.7″) |
重量 | 15 kg (33 lbs) |
电源输入 | 110-240 VAC / 50-60 Hz / 1,000 W |
光导选项 |
|
易用性和过程控制：
只需几分钟就能完成单元和内部发射极的初始设置。
高分辨率强度调节和反馈控制的功率输出保证了曝光过程中前所未有的精度和稳定性。
ALE/1速度极快、输出上升时间不到1毫秒。
设置每个LED模块和一般曝光参数的广泛可能性、帮助您管理应用程序和启用新的应用程序。
终端用户可以自行执行长LED使用寿命和一分钟的LED更换、这将极大地减少设备停机时间。
系统集成高度灵活性：
LED光引擎设计为光纤耦合光源、以实现系统集成的蕞大灵活性。
高透射光导将产生的辐射高效地传输到应用点、不需要复杂的光学器件、更容易为LED光源找到合适的位置以适合您的制造设备。
升级宝贵的现有设备并基于蕞新的LED技术设计新的曝光设备非常简单。
小尺寸的内部冷却光引擎、高透射光导的应用和标准通信接口使得系统集成成为一项非常易于管理的任务。
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关于昊量光电：
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