超分辨扫描光学显微镜
作为业内首台商业化微球透镜超分辨率光学显微镜，超分辨率自动扫描光学纳米数码光学显微镜实现远程计算机操作，搭配自动扫描平台，有偏振，微分干涉差DIC等功能。超分辨率纳米显微镜物镜(SMAL) - 干镜及油镜，可实现x200倍放大，分辨率达到50 - 70 纳米，大面积，高分辨率自动扫描拼图，可配套尼康LV100 ，莱卡DM2700 等显微镜将其升级到超分辨率光学显微镜水平。
显微镜技术分辨率对比
作为新型光学显微镜，采用微球技术（Super-resolution Microsphere Amplifying Lens, SMAL），突破光学衍射极限，实现超分辨（<100nm）光学成像。可广泛应用于生物显微成像、半导体检测、细胞生物学、药物研发、工业检测、纳米材料研究等。
一、主要应用：
■ 半导体缺陷检测
■ 矿物质纳米光学观测
■ 石墨烯CVD检测
■ 非荧光生物显微
二、技术参数：
图像传感器1 | |
类型: | 彩色/黑白 cmos |
像元尺寸： | 1.55um |
传感器纵横比： | 3：4 |
分辨率： | 12MP CMOS |
像元数： | 4000×3000 |
位深： | 12bits |
Max帧率： | 60fps |
接口: | USB3.0 |
SMAL镜头 | |
浸入式： | 可以 |
浸润介质： | 油或水 |
分辨极限： | 80-100nm |
工作距离： | 1-3um |
视野直径： | 10-15um |
焦深： | 200-400nm |
扫描平台 | |
类型： | 抗形变交叉滚子轴承 |
定位方式： | 零反冲 |
编码器： | 线性 |
行程范围： | 50mm |
速度Max： | 500mm/s |
分辨/Min步长： | 1nm |
位置稳定性： | <1nm |
双向重复性： | +/-75nm |
精度： | +/-250nm |
MAX载荷： | 3Kg |
MTBF2： | 20,000h |
科研相机可根据客户要求来进行配置，MTBF= Mean lifetime before failure
三、应用图例：
半导体芯片微观结构，线栅间隙100nm。
75nm上呼吸道病毒成像
大面积生物切片全彩扫描无缝拼接
四、升级服务
另外，可单独提供微球显微物镜，用于客户自行搭建相关系统，详情可咨询上海昊量光电设备有限公司。
关于昊量光电：
上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等，涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等服务。
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