DMD无掩模光刻机 SmartPrint UV System
DMD无掩模光刻机SMART PRINT UV是一种基于DMD投影技术的无掩模光刻设备，可兼容多种光刻胶和基材。SMART PRINT UV可以生产任何微米分辨率的二维形状，而不需要硬掩模。基于改进后的标准投影技术，投影出具有微米分辨率的图像，无掩模光刻机SmartPrint无需任何进一步步骤，就能直接从数字掩模光刻出您要的图。无掩模光刻机SmartPrint主要应用是MEMS, 微流体，二维材料，自旋电子学，生物技术和微电子等领域光刻表面微纳图案。
主要特性：
兼容SU-8、i、h、g线、AZ系统和宽带光刻胶等
SmartPrint-UV配备了385 nm光源或者405nm激光光源，以兼容标准i, h和g线光刻胶，如SU8或AZ®1500系列
适用于各种各样的基材
除了硅、玻璃、塑料、金属等基材还可兼容非标准基材(柔性薄膜基底，非平的，厚的)。
高速激光扫描振镜曝光速度
1000mm/s（10倍物镜）或 5000mm/s（2.5倍物镜）
可对激光直写过程进行实时监控
物镜类型
我们的物镜经过精心选择，有1X、2.5X、5X、10X四款镜头，具有较长的工作距离(高达3厘米)，使SP-UV成为一种非接触式技术。
可调直写范围和分辨率——用户可获得4种不同的直写分辨率
蕞小特征尺寸≤1um
手动旋转台：360°可旋转，精度 0.1°
兼容任何尺寸的样品，可至5平方英寸
对齐方式直观——反馈相机与第二束590nm准直光源叠加使用
占地空间小，易维护
应用领域：
光器件 微流控 微电子
指标参数：
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