椭偏仪(七)-椭偏仪数据处理模型-第三部分
继续我们上次讲的建模来介绍其他的模型:
6.Graded模型 Graded模型和之前讲过的EMA模型相似,适用于两种材料的混合材料,但是层内不同深度的混合比却是确定的;
7.Drude模型 这个模型主要用于金属自由电子气、硅化物和半导体等材料中的载流子吸收等情况:
其中εp是等离子共振频率,γ为碰撞频率;
8.洛仑兹振子模型 洛仑兹认为:物质分子是由一定数量的重原子核和外围电子构成的复杂带电系统,固体的介电函数可以用一定数量的Lroentz振子的和近似表示,称为简谐振子近似。其形式如下
上式中A为振幅,与载流子密度、电荷、质量有关,E0为振子的共振能量,G为振子的展宽系数,与振子的阻力有关。简谐振子模型适合用于晶态半导体材料,当材料的特征不是很清楚的情况下,选用简谐振子模型(即洛伦兹振子模型)是比较好的选择;
9.Forouhi-Bloomer模型 Forouhi和Bloomer针对的是非晶态半导体,通过量子力学处理结合K-K关系,可以推导出包含5个参数的模型,它比较适合于分析铁电薄膜与半导体薄膜材料:
n(∞)为无穷大能量时的折射率,Eg,A,B,C则为正的常数;
10.形模型 为了在较宽的频谱上表达物质的光学常数,一般需要考虑上述多种模型,则可以得到:
L(E)为某些特定的线形,例如高斯线形、洛伦兹形、临界点线形等, B(E)为能量缓变的背景。
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