膜厚测量原理（六）-台式薄膜测量系统的优势

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膜厚测量原理（六）-台式薄膜测量系统的优势

MPROBE20

数秒内的薄膜测量

台式MPROBE20可以快速、简便地测量厚度，光学常数（n和k）和透射率。这台功能 齐全的仪器能测量1纳米到1毫米厚的透光或半透光的薄膜。精度一般在几个埃。光斑大小可调节并且范围很宽。

超高的性价比 

Semiconsoft很高兴能提供突破性的低价格，使原本又困难又昂资的薄膜测量变得很便宜很简单。

附件

多种不同的平台，晶圆平台和特殊测量探头可适合大部分样品的尺寸。

在线测量 

针对制程应用，Semiconsoft的测量系统仅需要在光路上直视待测样品，并提供与多种控割系统的接口。

把显微镜变成薄膜厚度测量工具 

用于图形化表面和光斑小至10微米的薄膜厚度测量应用。

MPROBE20可以方便地与绝大多数显微镜相连。标淮c型精接器可以和测量点的ccd相机相连。

厚度测绘系统 

将MPROBE20厚度测量功能和直观操作作延伸为大面积样品的自动测绘。

几分钟内显示样品的均匀性。五不到数百个点 的扫描速度可达每秒1个点。最大到12英寸晶圆的标准平台。晶圆平台可随客户需要自定。

一般规格	VIS	VISHR	VISNIR	NIR&NIRHR	UVVISR	UVVISF	UVVISNIR
测量厚度范围	10nm-75um	1um-400um	50nm-100um	50nm-1800nm	1nm-75um	1nm-5um	1um-150um
光源	卤素灯（氙灯）				卤素灯（氙灯）&氘灯
波长范围	400nm-1000nm	700nm-110nm	380nm-1700nm	900nm-1700um 1500nm-1550nm	200nm-1000nm	200nm-1000nm	200nm-1700nm
准确度(取较大者)	<0.2% 或1 nm	<0.1% 或1 nm	<0.2%                                                     或1 nm
精度（分辨率）	<0.01nm或                                                            0.01%						<0.1nm或 0.1%
稳定性	<0.02nm或                                                            0.03%						<0.2nm或者 0.3%
光斑大小	标准1mm,最小0.5mm
光源寿命	最高可达10000小时寿命

了解更多关于膜厚测量系列详情，请访问上海昊量光电的官方网页：

https://www.auniontech.com/three-level-56.html

更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电

关于昊量光电：

上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等，涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等服务。

您可以通过我们昊量光电的官方网站www.auniontech.com了解更多的产品信息，或直接来电咨询4006-888-532。