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原位拉曼系统--实时监测半导体薄膜生长全过程在半导体工艺中,薄膜沉积是在半导体原材料硅晶圆上分阶段生长薄膜的核心工艺。它在半导体电路之间起到区分、连接和保护作用。由于其厚度非常薄,在晶圆上形成均匀地薄膜具有很高的难度。所以在化学沉积过程中,确认薄膜材料是否正常生长,以及能否产生所需的特定物性,就非常重要。为了确保薄膜沉积按照预期进行,通常将已长成的薄膜从真空化学气相沉积(CVD)腔室中取出,然后用分析仪器进行检查。它被称为“Ex-Situ”方法,是从外部而不是在腔室内部进行分析。但是,从真空室中取出的薄膜可能会与大气中的氧气或水分接触,从而改变物性,很难进行准确的分析。即使通过分析发现问题,也 ...
拉曼多组分分析的技术方法拉曼光谱是基于单色光的非弹性散射,是一种可以用来识别特定化学键的强大技术。当入射光子和化学分子相互作用时,就会发生光子散射。大多数散射光子是由瑞利散射(一种弹性散射形式)产生的,并且与激发激光具有相同的波长。一小部分被散射的光子是由称为拉曼散射的非弹性散射过程产生的。虽然与瑞利散射光子相比,光子的数量相对较少,但这些光子的波长和强度携带有关特定化学键存在的定性和定量信息。在给定的拉曼光谱中,出现在特定波数位置的一组峰可以被描述为识别特定化学物质的“指纹”,同时,峰的高度可以与这种化学物质的浓度有关。多组分分析是拉曼光谱的应用之一。在过去的二十年里,许多研究小组提出了光学 ...
韩国Nanobase公司多年致力于光学和光谱学产品的研发和生产,在可调谐激光器和光谱仪等方面取得了多项zuanli技术。Nanobase将这些技术整合起来,继而开发了共聚焦拉曼成像系统,该系统使用简单,易于维护,既方便拉曼入门者学习使用,同时也可提供定制和扩展功能,满足拉曼专业人士的不同需求。目前Nanobase拉曼光谱系统的客户已在二维材料,多铁陶瓷材料,表面增强拉曼等领域发表了诸多文章。其产品具有以下几个特点:1,独特的激光扫描系统拉曼光谱系统多采用平台位移的方式实现扫描成像,这种方式成像速度慢,精度较低,位移平台也无法放置大体积,大重量的样品。Nanobase公司的拉曼光谱系统则采用独特 ...
NANOBASE参加ICORS2018国际拉曼光谱大会昊量光电拉曼光谱仪合作伙伴NANOBASE参加了刚刚结束在韩国济州岛举办的第26届国际拉曼光谱大会,作为本次大会的东道主和铂金会员参展商,在为期6天(8月26~8月31号)的会议中,Nanobase携手全球拉曼研究专家走进微米/纳米材料研究最前沿!NANOBASE在本次会议中展示了先进的拉曼光谱成像技术和PL/EL/ Photocurrent技术1.高性价比共聚焦拉曼成像系统—XperRam Compact 高性价比(仅售50万 RMB) 532nm激发光源 Mapping快速扫描功能 高透过率VPHG光栅 XperRam Compact在 ...
自1998年以来,NT-MDT已成功地将AFM与光学显微镜和光谱技术相集成。支持包括HybriD ModeTM在内的30多种基本和AFM模式,可提供有关样品表面物理性质的广泛信息。 AFM与共焦拉曼/荧光显微镜的集成提供了有关样品的更多信息。完全相同的样品区域同时测量的AFM和拉曼图可提供有关样品物理性质(AFM)和化学成分(Raman)的补充信息。NTEGRA Spectra II借助尖端增强拉曼散射(TERS),可以进行纳米级分辨率的光谱学/显微术。特制的AFM探针(纳米天线)可用于TERS,以增强和定位尖端附近纳米级区域的光。这种纳米天线充当光的“纳米源”,从而提供了光学成像的可能性,其 ...
高性能便携式 拉曼光谱仪!高分辨率!出色的重复性!使用全息透射光栅,光透过率高!可扩展/ 定制!韩国NANOBASE公司专业生产高性能拉曼光谱仪,为科学和工业领域提供高性价比解决方案。基于体相位全息光栅,与传统使用反射光栅(Czerny-Turner)的拉曼光谱仪不同。XperRam便携式拉曼光谱仪能在体积小,易于操作的前提下同时还具有出色的光谱分辨率,光透过率高,低偏振相关性和出色的图像质量的特点。关键词:共焦拉曼成像系统,共聚焦拉曼成像系统,共焦拉曼光谱成像系统,共焦拉曼成像光谱仪系统,拉曼光谱仪,成像光谱仪,激光拉曼成像系统, 显微拉曼成像系统XperRam portable便携式拉曼光 ...
高灵敏度 可拓展 高速大面积扫描 共聚焦拉曼成像系统高灵敏度共焦拉曼成像系统!高分辨率!出色的重复性!独特的振镜扫描技术,平台不动,更有利于偏振拉曼及原位测试使用全息透射光栅,光透过率高!可扩展为PL/EL/偏振拉曼/光电流成像系统/荧光寿命成像系统低波束拉曼系统空间光接口&光纤接口适于客户现有激光器接入200µm x 200µm 图像快速扫描 & 2D Mapping!高性价比!XperRam S共聚焦拉曼成像系统韩国NANOBASE公司专业生产高性价比共聚焦激光拉曼成像系统,为科学和工业领域提供高性价比解决方案。 韩国NANOBASE公司 XperRam S共聚焦激光拉曼光 ...
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