快速控制反射镜(Fast Steering Mirror),简称快反镜。是光电精密跟踪系统中必不可少的一部分,是采用反射镜面在光源和接收器
之间精确控制光束方向的一种装置。快反镜使用压电陶瓷或音圈电机来对光束进行快速微小角度偏转的位移。
快反镜是光电精密跟踪系统中重要的一部分,用来精确控制光束方向。快反镜响应速度快,控制精度高。可以用来校正光路中的倾斜误
差,也可以用来稳定光束的指向,还可以用在快速跟踪系统中。快反镜在驱动元件作用下控制反射镜面的快速高频转动,实现光束的高
速精确指向、稳定和跟踪。
压电陶瓷驱动器是快反镜理想的驱动方式。压电陶瓷驱动的快反镜由反射镜、柔性铰链、压电陶瓷驱动器、基座、电阻应变片式传感器
和电路结构等组成。如下图所示:
在快反镜中使用的压电陶瓷需要纳米级别的高分辨率。压电陶瓷的使用可以显著提高谐振频率和灵敏度。压电陶瓷的工作利用了压电效
应。某些物质受到外力时,不仅几何尺寸发生变化,而且内部极化。表面电荷出现形成电场。当外力消失时有重新回复到不带电状态
,这种效应被称为正压电效应。相反地,当对压电晶体施加电场时,不仅产生了极化还产生了形变,这种效应被称为逆压电效应。
给压电陶瓷加电压时,压电陶瓷会有一个可以达到纳米级别的位移。这个位移和所加的电压大致成正比。在实际应用中,为了增大位移
和输出力,常常采用堆叠型压电陶瓷执行器。和传统的电机结构相比,压电陶瓷不需要传动机构,位移控制精度高;响应速度快,无机
械吻合间隙,可实现电压随动式位移控制;有较大力输出;功耗低,且位置保持情况下几乎无功耗;是固体器件,容易和电源、传感
器、微机等实现闭环控制。
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