首页  产品信息 精密定位系统/运动控制系统  压电精密定位系统 二维压电平移台

压电精密定位系统

二维压电平移台一维(X轴)压电平移台压电促动器(亚纳米级)纳米级电容位移传感器超紧凑线性平移台(亚微米)超小型亚微米位移促动器 显示全部
dow.png

二维压电平移台

二维压电平移台--高精度亚纳米压电陶瓷平移台 --- 高精度亚纳米二维压电平移台!

所属类别:精密定位系统/运动控制系统 » 压电精密定位系统

所属品牌:

负责人姓名:李工(William)

电话:156 1809 2363 邮箱:wentao-li@auniontech.com


二维压电平移台--高精度亚纳米压电陶瓷平移台

高精度亚纳米二维压电平移台!

上海昊量推出的二维压电平移台采用压电陶瓷直推,二维压电平移台以柔性铰链为导向使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点,采用硅位移传感器,二维压电平移台相比于传统的电容式位移传感器,硅传感器使平移台拥有更高的精度和线性度以及较低的底噪。二维压电平移台的精度可以达到亚纳米,底噪低至10pm。


压电平移台,压电陶瓷平移台,压电陶瓷定位台,压电陶瓷微动台,压电陶瓷扫描台,压电精密定位系统,二维压电平移台

昊量光电推出的压电平移台是为了满足超精密定位应用的需求。该平移台采用压电陶瓷驱动,以柔性铰链为导向使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。采用硅高精度位移传感器,与电容位移传感器相比拥有更高的精度、线性度和非常低的底噪。由于其具有较高的精度、线性度和较低的底噪等优点,被广泛的应用于超分辨率显微镜,光学捕获和原子力显微镜等领域。


上海昊量光电推出的二维压电平移台主要有以下几款产品。

①超快二维压电平移台

超快二维压电平移台有两款AU-LFHS2和AU-LTHS2

AU-LFHS2平移台是一款超快的亚纳米定位平台,可以在X, Y两个方向上提供75mm的行程。在平移台的中心拥有一个边长为66mm的方形通光孔,如果需要该平移台可以与Z轴运动的一维平移台集成为三维运动平台。AU-LFHS2是一款快速的位移平台,其两个轴的谐振频率可达到2000Hz,使用高速控制器控制时,其相应时间可达到2ms。

AU-LTHS2也是一款超快的平移台,两个轴的谐振频率可达到1000Hz,行程可达到75mm,在压电陶瓷平移台的中心拥有一个83´66mm的长方形孔径,该尺寸刚好可以把载玻片放置在该平台上。AU-LTHS2二维压电陶瓷平移台,厚度只有20mm,因此十分容易集成到倒置显微镜上。

这两款平移台均可配合低分辨率的平移台使用形成高精度平移台。

             
                        

       图1 AU-LFHS2平移台                                                          图2. AU-LTHS2平移台

 

②超薄二维压电平移台

AU-Bio是一款超薄的二维压电平移台,厚度只有15.6mm,它可以集成在任何倒置显微镜上,平移台中心拥有一个54´83.6mm矩形通光孔。

AU-LT2也是一款超薄的压电平移台,可提供100/200/300mm不同行程的平移台,由于其超薄的厚度使其可以与各种类型的倒置显微镜配合使用。此外该平台中心拥有一个66´66mm的方形孔径。

这两款超薄平移台的材质为Al,如果应用需要也提供不胀钢材质的平移台,这样平移台会拥有更好的热稳定性。
              
                       

             图3. AU-Bio平移台                                                          图4. AU-LT2 平移台



③超紧凑二维压电平移台

AU-C-2.100是一款超紧凑的亚纳米闭环控制平移台,该平移台两轴可提供100mm的行程,但是其体积只有48.5´48.5´30.3 mm,其紧凑的设计使其是许多应用的理想工具,例如:光纤对准、双光子聚合和激光写入应用等。

   AU-LF2也是一款紧凑的平移台,可提供100/200/300mm 三种不同的行程。其中心有一个66´66 mm的方形孔径,非常适合即要求有孔径又对体积有限制的应用。

                  
                     

                图5.AU-C-2.100平移台                                           图6.AU-LF2平移台


u  产品特点
l  高分辨率(0.01nm)
l  高速度,自振频率可达2000Hz
l  采用硅传感技术
l  超低底噪
l  柔性铰链导向

 
u  主要应用
l  纳米刻蚀
l  超分辨显微镜
l  共聚焦显微镜
自适应光学
l  粒子追踪

 
u  产品参数:


Unit

AU-LF2

AU-Bio2

AU-LT2

AU-C2.100

AU-LTHS2

AU-LFHS2

Range of motion

mm

100

200

300

100

200

300

100

200

300

100

75

75


Resolution

nm

0.1

0.2

0.3

0.1

0.2

0.3

0.1

0.2

0.3

0.1

0.075

0.075


Typical noise floor

nm

0.01

0.02

0.03

0.01

0.02

0.03

0.01

0.02

0.03

0.01

0.0075

0.0075


Full range repeatability

nm

0.2

0.4

0.6

0.2

0.4

0.6

0.2

0.4

0.6

0.2

0.15

0.15


Linearization (typical)


0.02%

Resonant frequency

Hz

500/300

400/250

300/200

500/400

400/350

300/250

500/400

400/350

300/250

400/250

1500/1000

3000/2000


Stiffness

N/mm

0.6/0.35

0.5/0.3

0.4/0.25

0.6/0.5

0.5/0.4

0.4/0.3

0.6/0.5

0.5/0.4

0.4/0.3

400/250

2/2

4/3


Maximum load :



horizontal use

Kg

1

0.5

0.5

1

vertical use

Kg

0.5

0.1

0.3

0.5

Sensor


Silicon HR sensor

Material


Al

Cable length

m

2

Controller


Standard

 

High speed





询问表格

* 号为必填内容
  • *
  • *
  • *
  • *
  • 验证码

产品标签:压电平移台,压电陶瓷平移台,压电陶瓷定位台,压电陶瓷微动台,压电陶瓷扫描台,压电精密定位系统,二维压电平移台

数据单下载

* 号为必填内容
请在下载前填写下面表单
Please fill in the form in before you download
  • *
  • *
  • *
  • *
  • 验证码

预约试用

* 号为必填内容
请在下载前填写下面表单
Please fill in the form in before you download
  • *
  • *
  • *
  • *
  • 验证码