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大角度微型二维扫描镜

微型二维扫描镜,' ;&+"vHE' ;&+"控制系统!

所属类别:精密定位系统/运动控制系统 » 快倾镜/转镜/旋转平台

所属品牌:美国New Scale Technologies公司

负责人姓名:李工(William)

电话:156 1809 2363 邮箱:wentao-li@auniontech.com


大角度微型二维扫描镜


微型二维扫描镜,大偏转角度二维光束控制系统!

(注:本产品为客户定制型,如有需要请和昊量光电技术人员具体沟通)



AUM3系列光束控制系统是使激光精确点到点和动态运动的设备。该控制系统采用压电电机直接驱动,无伺服抖动。并有自锁设计,可保持在任一位置不需要任何功耗。AUM3光束控制系统拥有集成的闭环控制系统,可提供高精度的运动和重复性。内置控制器和驱动,可通过标准串口直接接受系统的控制。该系统拥有可以与MEMS相匹敌的紧凑的体积,但可以提供更宽的运动范围和可接受更大的激光功率。该设备是小体积的,低功耗的易于集成的光束控制系统。

AUM3系列光束控制系统是使激光精确点到点和动态运动的设备。该控制系统采用压电电机直接驱动,无伺服抖动。并有自锁设计,可保持在任一位置不需要任何功耗。AUM3光束控制系统拥有集成的闭环控制系统,可提供高精度的运动和重复性。内置控制器和驱动,可通过标准串口直接接受系统的控制。该系统拥有可以与MEMS相匹敌的紧凑的体积,但可以提供更宽的运动范围和可接受更大的激光功率。该设备是小体积的,低功耗的易于集成的光束控制系统。


AUM3系列光束控制系统主要包括以下几种。

①双反射镜二维光束控制系统。该系统包含两个反射镜,并可在正交的方向上独立的运动。该系统的反射镜由压电马达驱动,可提供高达±40°的光束偏转角度,偏转速度可达到5760°/S。双反射镜光束控制系统拥有两个角度传感器,角度分辨率可达到0.04°,运动精度可达到0.1°。内置控制器和ICs驱动,使该系统拥有紧凑的体积(20.5 x 10 x 7.8 mm³)。

    


②单反射镜二维光束控制系统。该系统包含一个反射镜、两个压电马达、两个角度传感器、IC驱动和控制器。压电马达直接作用于反射镜的边缘,调节Z方向的高低,可提供光束偏转的角度达到±19°。相比于双反射镜光束控制系统,该系统拥有更快的响应速度,光束偏转1度只需要0.63毫秒。在每个运动轴上,都有一个角度传感器,该控制系统的角度分辨率可达到0.04°,运动精度可达到0.1°。由于使用单反射镜,因此拥有更紧凑的体积(10 x 10 x 5mm),可接受的最大激光光斑可达到3mm。另外该设备镜子的尺寸、形状、材质可选根据不同的应用。




③超紧凑里斯利(Risley)棱镜光束控制系统。包含两个可绕着光轴独立运动的楔形的棱镜。通过连续的控制棱镜的方向来改变光束的方向,光束的偏转角度可达到±6°原理如下图所示。




该光束控制系统采用微轴承导向,使每个棱镜拥有极低的抖动和摩擦。压电马达通过摩擦棱镜的外侧驱动棱镜,并且无伺服抖动。内置控制器和位置传感器,使该控制器的分辨率可达到0.1°,运动精度可达到0.6°。与以上两种类型的光束控制系统相比,该系统可接受高功率的激光,可接受的最大激光光斑可达到6mm。



对比以上几款激光器,各有优劣,①双反射镜二维光束控制系统,优势是拥有较大的光束偏转角可达到±40°,但是该设备要求光束为平行光束。②单反射镜二维光束控制系统,拥有较快的响应速度、较小的体积和质量,可适用于收敛和发散的光束,但是该设备要求入射光必须与镜面成45°,当镜面垂直于Z轴时。③里斯利(Risley)棱镜光束控制系统,可以接受高功率的激光,高效率和同轴的光路,劣势是,该系统的响应速度较慢,并且要求棱镜的旋转和光束的偏转角之间的非线性转换。

u  主要特点
²  大偏转角度
²  高精度
²  超紧凑结构
²  可承受大功率激光
²  低功耗

u  主要应用
医学:皮肤激光扫描实现精确曝光、体内和体外激光手术、荧光显微镜和成像仪的激光源扫描等。
工业:3D打印、3D测量、光谱学、激光打印、雕刻和加工等。
通讯学:自由空间光系统的激光束指向和跟踪、光纤到光纤的光学转换等。

u  主要参数



Two-Mirror M3 Module

Single-Mirror M3 Module

Risley Device M3 Module

Beam Motion

Range of ΘX and ΘY (deg)

+/- 40

+/- 19

+/- 6

Speed (deg/s)

5760

3820

379

Acceleration (deg/s 2 )

1,664,000   

10,000,000

41667

Resolution (deg)

0.04

0.04

0.1

Accuracy (deg)

0.1

0.1

0.6

Maximum Beam Diameter (mm)

2

3

6

Fastest beam stepping time for:

0.1 deg (msec)

0.49   

0.2

4.38

1 deg (msec)

1.55   

0.63

13.86

10 deg (msec)

4.9   

3

61.88

Approx. Module Size (mm)

~ 20 x 10 x 10

~10 x 10 x 5

~ Dia. 16 x 15 Length

Approx. Module Volume (mm 3 )

2000   

500

3000

Controller

Built in

Built in

Built in




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产品标签:光束控制系统,二维扫描镜,激光扫描振镜,光束转向装置,大角度微型二维扫描镜,微型振镜

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