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二维MEMS扫描镜

无转向节二维MEMS扫描镜,超低功耗,大角度超快二维扫描!

所属类别:精密定位系统/运动控制系统 » 快倾镜/转镜/旋转平台

所属品牌:

负责人姓名:李工(William)

电话:156 1809 2363 邮箱:wentao-li@auniontech.com


二维MEMS扫描镜

无转向节二维MEMS扫描镜 超低功耗 大角度超快二维扫描!

微机电扫描镜, 又称MEMS扫描镜,是通过电机驱动镜面倾斜,从而对光束实现偏转控制的器件。相比扫描振镜等常见的光束扫描器件,MEMS扫描镜具有体积小、重量轻、功耗低、对环境影响不敏感等特点,而且MEMS扫描镜可与位置传感器集成使用,实现更高的定位精度。

这款无转向节二维MEMS扫描镜完全采用单晶硅材料制成。该二维MEMS扫描镜中不含有任何移动的金属、塑料和线圈等部件,也没有易于发生故障的压电或电磁促动器,所以该二维MEMS扫描镜具有很高的位置重复精度与可靠性。同时,这款二维MEMS扫描镜完全由免维护的纯弹性材料(单晶硅)构成,并完全采用静电驱动方式,因此工作过程中没有电流。这款无转向节二维MEMS扫描镜可实现大角度、超快二维光束扫描。二维扫描角度可达32度,并且功耗极低,仅1mW。该二维MEMS扫描镜采用线性驱动方式和四象限可寻址静电梳驱动设计,保证了很好的电压与角度的线性度。

主要特点:
l  模拟电压控制可实现任意角度偏转;
l  点到点光束扫描,驱动电压与扫描角度一一对应;
l  模块设计方便选择各种不同尺寸的镜面,以根据不同应用实现优化;
l  同时在XY两个方向实现高速扫描
l  动态模式扫描,XY两个方向大角度扫描(e.g. -160 to 160)


主要参数:

Integrated Mirror Devices

Bonded Mirror Devices

镜面大小: 0.8mm,   1.2mm, 1.6mm, 20.mm and 2.4mm diameter always in stock

镜面大小: 2.0, 2.4, 3.0, 3.6, 4.2, and 5.0mm diameter in stock, larger   possible in special orders.

点到点驱动模式最大倾斜角度: -6° to +6° mechanical each   axis, varies with design type.

  点到点驱动模式最大倾斜角度: -6° to +6° mechanical on each axis, varies with design type.

共振驱动模式最大倾斜角度: -7° to +7° mechanical

共振驱动模式最大倾斜角度: -7° to +7° mechanical, varies with design type.

  • 表面粗糙度: <10 nm rms

  • 驱动方式:静电驱动

  • 镜面曲率半径: >5 m

  • 镜面镀膜: Aluminum or Gold

  • 位置重复精度: better than 0.0005° (500        micro-degrees) at room temperature

  • 工作温度: -40°C to 105°C

  • 光学窗口: Anti-reflection coated fused silica        windows.

  • 光学损伤阈值: up to 2W any mirror, any wavelength.        Above 2W depends on mirror size, coating, and wavelength. E.g. 3W CW        blue or green on a 2mm or larger mirror .

  • 初始共振旋转频率: >3 kHz for both axes for small        mirror sizes, >1.2kHz for 2.0mm size, etc.



MEMS扫描镜驱动控制器:

          


MEMS扫描镜整套系统开发包:

         


开发包标准配置:
u  3个二维MEMS扫描镜
u  配套软件
u  USB MEMS控制器
u  安装支架
u  光学面包板
u  5mW 635nm 红光激光器

 
可根据客户要求,定制配置方案




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产品标签:微机电扫描镜,MEMS扫描镜,MEMS Mirror,MicroMirror,Microscanner,Micro-scanning Mirror

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